在三坐標測量機中垂直度的要素一般為直線和平面。基準要素一般為平面，當然也可以是直線。垂直度評價直線之間、平面之間或直線與平面之間的垂直狀態(tài)。其中一個直線或平面是評價基準，而直線可以是被測樣品的直線部分或直線運動，平面可以是被測樣品的平面部分或運動軌跡形成的平面。

三坐標測量機能從三維空間的不同方向來對工件進行數(shù)據(jù)采集和計算。所以是測量垂直度比較理想的設備。

三坐標測量機中的圖例：

指示線的箭頭表示的圓柱的軸線應在垂直于基準平面A的、直徑0.01mm的圓柱內。